扫描电子显微镜: 日本日立 S-3400N

技术参数：

SE分辨率：3.0 nm (30 kV)，高真空模式，10 nm (3 kV)， 高真空模式

BSE分辨率：4.0 nm (30 kV)，低真空模式

放大倍率： ×5～×300，000，

加速电压：0.3～30 kV